半导体洁净厂房自洁式沙尘机组

自洁式沙尘机组是半导体洁净厂房自洁式沙尘机组是微电子洁净车间新风前置专用风沙净化设备，针对厂区户外风沙、扬尘、厂区土建粉尘预处理，作为洁净新风系统第一道防护关卡，阻挡沙尘颗粒侵入万级、千级半导体洁净车间。机组采用多级梯度无硅洁净滤料，不含硅元素避免污染晶圆生产工序，过滤环节分级拦截粗沙、细粉尘，脉冲自洁采用洁净无油气源喷吹，杜绝油污、杂质二次污染新风。整机全不锈钢滤仓，无锈蚀掉屑风险，密封结构达到洁净车间外围防护标准，气流均匀分配无死角，保障进气风压稳定不波动。压差、清灰系统全自动智能控制，可联动洁净车间空调机组同步运行，清灰时序避开晶圆生产关键工序，防止气流扰动影响车间洁净度。设备外壳抗风沙侵蚀，室外进气安装不产生锈蚀碎屑，配套高效隔音减震结构，运行震动极低，不会引发洁净车间微震动干扰精密光刻设备。可适配芯片、封装、面板各类半导体厂区，大幅降低末端高效过滤器粉尘负荷，延长昂贵 HEPA 高效滤网使用寿命，稳定车间洁净等级，减少洁净厂房停产维护频次。

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1、半导体洁净厂房自洁式沙尘机组专为微电子芯片、封装洁净车间新风预处理打造，采用无硅无尘专用梯度滤料，不含硅、钙等易析出污染成分，可拦截户外风沙、土建扬尘，作为洁净车间第一道防护，避免大颗粒沙尘提前损耗末端高价高效过滤滤网。
2、整机过滤仓、气流接触部件全部采用 304 不锈钢材质，风沙、潮湿环境长期使用不会锈蚀脱落金属碎屑，杜绝锈屑随新风进入洁净车间污染晶圆、光刻设备，完全匹配半导体行业高洁净防污染生产标准。
3、自洁喷吹气源配置无油干燥净化装置，压缩空气先除水除油再进入喷吹气包，避免气源油污、水汽随清灰气流扩散混入新风，防止油膜附着滤料产生二次污染物，保障送入洁净厂房空气干燥洁净无杂质。
4、分段分时智能脉冲清灰逻辑，支持自定义清灰时段，可设置避开半导体车间光刻、镀膜等高精度生产工序，分区域轮流喷吹滤芯，全程维持稳定新风风量与风压，不会因集中清灰造成车间气流紊乱、洁净度波动。
5、高精度压差稳定控制系统，压差波动阈值精细调节，精准识别滤芯轻微积尘，及时启动清灰，避免沙尘堆积穿透滤料，实时压差数据接入洁净厂房中央洁净监控系统，同步记录新风净化全过程数据便于生产溯源。
6、进风口配置弧形防沙尘导流百叶 + 前置可拆洗粗滤网，提前拦截风沙中大颗粒砂石、落叶杂物，减少主滤芯沙尘负荷，前置滤网拆装清洗便捷，无需停机即可维护，降低主滤芯更换周期与半导体厂房运维成本。
7、整机低震动复合减震系统，风机、气包、滤仓全部独立减震隔离，机组运行微震动控制在微米级标准，不会传递震动至洁净车间，规避震动干扰光刻机、检测仪器等高精度半导体生产设备。
8、全道次食品级硅胶密封胶条，滤仓门、法兰、检修口多重密封防护，负压进气状态下杜绝室外沙尘从缝隙渗入，室外风沙天气依旧稳定维持进气洁净度，保障车间恒定洁净等级不超标。